Feasibility Study on Immersion System Using High-Index Materials

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-06, Vol.47 (6S), p.4853
Hauptverfasser:	Sakai, Keita, Iwasaki, Yuichi, Mori, Sunao, Yamada, Akihiro, Ogusu, Makoto, Yamashita, Keiji, Nishikawara, Tomofumi, Hara, Shin-ichi, Watanabe, Yutaka
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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