Three-Axis Acceleration Sensor Using Polyurea Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-05, Vol.47 (5S), p.4044
Hauptverfasser:	Tabaru, Masaya, Nakazawa, Marie, Nakamura, Kentaro, Ueha, Sadayuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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