Improving the Cell Characteristics Using SiN Liner at Active Edge in 4 Gbits NAND Flash Memories

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2008-04, Vol.47 (4S), p.2676
Hauptverfasser: Kang, Daewoong, Jang, Sungnam, Lee, Kyongjoo, Kim, Jinjoo, Chang, Dongwon, Kwon, Hyukje, Lee, Wonseong, Park, Il-Han, Kim, Jun Su, Lee, Jae Hong, Park, Byung-Gook, Lee, Jong Duk, Shin, Hyungcheol
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.47.2676