$Electron Backscatter Diffraction Analysis for Polarization of SrBi 2 (Ta,Nb) 2 O 9 Ferroelectric Capacitors in Submicron Small Area$

Electron Backscatter Diffraction Analysis for Polarization of SrBi 2 (Ta,Nb) 2 O 9 Ferroelectric Capacitors in Submicron Small Area

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-01, Vol.47 (1R), p.262
Hauptverfasser:	Kaibara, Kazuhiro, Tanaka, Keisuke, Uchiyama, Kiyoshi, Kato, Yoshihisa, Shimada, Yasuhiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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