Nanoscale Stress Field Evaluation with Shallow Trench Isolation Structure Assessed by Cathodoluminescence Spectroscopy, Raman Spectroscopy, and Finite Element Method Analyses

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-04, Vol.47 (4S), p.2506
Hauptverfasser:	Kodera, Masako, Iguchi, Tadashi, Tsuchiya, Norihiko, Tamura, Mizuki, Kakinuma, Shigeru, Naka, Nobuyuki, Kashiwagi, Shinsuke
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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