Characteristics of Pure Ge 3 N 4 Dielectric Layers Formed by High-Density Plasma Nitridation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-04, Vol.47 (4S), p.2415
Hauptverfasser:	Kutsuki, Katsuhiro, Okamoto, Gaku, Hosoi, Takuji, Shimura, Takayoshi, Watanabe, Heiji
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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