Study on Compensation of Thermal Stresses in the Fabrication Process of Thin-Film Transistor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-04, Vol.47 (4R), p.2238
Hauptverfasser:	Han, Jin-Woo, Han, Jeong-Min, Kim, Byoung-Yong, Kim, Young-Hwan, Kim, Jong-Hwan, Seo, Dae-Shik, Park, Yong-Pil
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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