Study of Drain Alloy for Antimony Substrate Vertical High Voltage Power Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-04, Vol.47 (4R), p.2122
Hauptverfasser:	Liao, Chien-Nan, Chien, Feng-Tso, Chen, Chii-Wen, Tsai, Yao-Tsung
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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