Thermal Agglomeration of Ultrathin Silicon-on-Insulator Layers: Crystalline Orientation Dependence

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-03, Vol.47 (3R), p.1461
Hauptverfasser:	Fan, Youjun, Nuryadi, Ratno, Burhanudin, Zainal A., Tabe, Michiharu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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