Multi-Hollow Plasma Production along Dielectric Plate in Microwave Discharge

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-11, Vol.46 (11L), p.L1039
Hauptverfasser:	Nakao, Sachiko, Sugai, Hideo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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