Low-Temperature Growth of Carbon Nanotubes by Grid-Inserted Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2007-12, Vol.46 (12R), p.8000
Hauptverfasser: Kojima, Yoshihiro, Kishimoto, Shigeru, Mizutani, Takashi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.46.8000