Observation of Characteristics of Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Appearing at Antenna in RF Circuit

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-11, Vol.46 (11R), p.7475
Hauptverfasser:	Tsuboi, Hideo, Ogata, Seiji
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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