Application of BaTiO 3 Film Deposited by Aerosol Deposition to Decoupling Capacitor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-10, Vol.46 (10S), p.6915
Hauptverfasser:	Hatono, Hironori, Ito, Tomokazu, Matsumura, Akihiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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