Optical Characteristics of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide Films Prepared at Various Gas Flow Rate Ratios

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-10, Vol.46 (10R), p.6530
Hauptverfasser:	Azis, Aniszawati, Rahman, Saadah A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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