Pattern Size Reduction of Nanoprint-Fabricated Structures on Heat-Shrinkable Film

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-09, Vol.46 (9S), p.6395
Hauptverfasser:	Yokoo, Atsushi, Wada, Kazumi, Kimerling, Lionel C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!