Effect of Bilayer Structure on the Long-Term Stability of Nanocrystalline Porous Silicon Ultrasonic Emitter

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2007-09, Vol.46 (9S), p.6218
Hauptverfasser: Watabe, Yoshifumi, Honda, Yoshiaki, Koshida, Nobuyoshi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.46.6218