Nanostructure Fabrication by Electron-Beam-Induced Deposition with Metal Carbonyl Precursor and Water Vapor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-09, Vol.46 (9S), p.6183
Hauptverfasser:	Takeguchi, Masaki, Shimojo, Masayuki, Furuya, Kazuo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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