Monolithic Integration Fabrication Process of Thermoelectric and Vibrational Devices for Microelectromechanical System Power Generator

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-09, Vol.46 (9R), p.6062
Hauptverfasser:	Sato, Norio, Kuwabara, Kei, Ono, Kazuyoshi, Sakata, Tomomi, Morimura, Hiroki, Terada, Jun, Kudou, Kazuhisa, Kamei, Toshikazu, Yano, Masaki, Machida, Katsuyuki, Ishii, Hiromu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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