Effects of Sputtering Gas Conditions on Formation of (112̄0) Textured ZnO Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-07, Vol.46 (7S), p.4660
Hauptverfasser:	Kawamoto, Takayuki, Yanagitani, Takahiko, Matsukawa, Mami, Watanabe, Yoshiaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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