Effect of Energetic Particle Bombardment on Microstructure of Zinc Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-07, Vol.46 (7R), p.4038
Hauptverfasser:	Furuta, Mamoru, Hiramatsu, Takahiro, Matsuda, Tokiyoshi, Furuta, Hiroshi, Hirao, Takashi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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