Resin Material Dependence of Pit Shape in Thermal Direct Mastering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2007-06, Vol.46 (6S), p.3942
Hauptverfasser: Sakai, Toshihiko, Shimo, Masanori, Takamori, Nobuyuki, Murakami, Yoshiteru, Takahashi, Akira
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.46.3942