Fabrication of Thermally Durable Sub-wavelength Periodic Structures upon Inorganic–Organic Hybrid Materials by Nano-imprinting

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-06, Vol.46 (6R), p.3704
Hauptverfasser:	Kang, Dong Jun, Bae, Byeong-Soo, Nishii, Junji
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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