Influence of Thermal Annealing on Microstructures of Zinc Oxide Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-06, Vol.46 (6R), p.3319
Hauptverfasser:	Hiramatsu, Takahiro, Furuta, Mamoru, Furuta, Hiroshi, Matsuda, Tokiyoshi, Hirao, Takashi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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