Dielectric Properties of the Interface between Si and SiO 2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-05, Vol.46 (5S), p.3261
Hauptverfasser:	Wakui, Sadakazu, Nakamura, Jun, Natori, Akiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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