Ring Contact Electrode Process for High Density Phase Change Random Access Memory

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2007-04, Vol.46 (4S), p.2001
Hauptverfasser: Ryoo, Kyung-Chang, Song, Yoon Jong, Shin, Jae-Min, Park, Sang-Su, Lim, Dong-Won, Kim, Jae-Hyun, Park, Woon-Ik, Sim, Ku-Ri, Jeong, Ji-Hyun, Kang, Dae-Hwan, Kong, Jun-Hyuck, Jeong, Chang-Wook, Oh, Jae-Hee, Park, Jae-Hyun, Kim, Jeong-In, Oh, Yong-Tae, Kim, Ji-Sun, Eun, Seong-Ho, Lee, Kwang-Woo, Koh, Seong-Pil, Fai, Yung, Koh, Gwan-Hyob, Jeong, Gi-Tae, Jeong, Hong-Sik, Kim, Kinam
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.46.2001