Neutralization and Discharge of Electron Traps in Hydrogenated Diamond-Like Carbon Films Deposited on Ground Electrode by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2007-04, Vol.46 (4R), p.1568
Hauptverfasser:	Yokota, Katsuhiro, Nakatani, Takahiro, Miyashita, Fumiyoshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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