Thermal Desorption Development of Spin-On Glass for Electron Beam Nanolithography

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-01, Vol.45 (1L), p.L68
Hauptverfasser:	Araki, Makoto, Taniguchi, Jun, Miyamoto, Iwao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!