Demonstrative Experiment for Single-Ion Implantation Technique Using Highly Charged Ions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-02, Vol.45 (2R), p.995
Hauptverfasser:	Yoshiyasu, Nobuo, Takahashi, Satoshi, Shibata, Masa-aki, Shimizu, Hiroshi, Nagata, Kazuo, Nakamura, Nobuyuki, Tona, Masahide, Sakurai, Makoto, Yamada, Chikashi, Ohtani, Shunsuke
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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