Influence of Exposure Spectra on Optical Properties of Alicyclic Methacrylate Copolymer Waveguides Fabricated by Deep UV Exposure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-08, Vol.45 (8S), p.6654
Hauptverfasser:	Ichihashi, Yasuhisa, Henzi, Patric, Bruendel, Mathias, Rabus, Dominik Gerhard, Mohr, Juergen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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