Electrodeposition of Organic Dielectric Film and Its Application to Vibrational Microelectromechanical System Devices

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-06, Vol.45 (6S), p.5646
Hauptverfasser:	Sakata, Tomomi, Ishii, Hiromu, Sato, Norio, Shimamura, Toshishige, Kuwabara, Kei, Kudou, Kazuhisa, Machida, Katsuyuki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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