Low k 1 Contact Hole Formation by Double Line and Space Formation Method with Contact Hole Mask and Dipole Illumination

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-06, Vol.45 (6S), p.5409
Hauptverfasser:	Nakamura, Hiroko, Sato, Kazuya, Tanaka, Satoshi, Taniguchi, Yasuyuki, Abe, Junko, Mimotogi, Shoji, Inoue, Soichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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