Miniaturized Angular Rate Sensor with Laminated Quartz Tuning Fork

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2006-05, Vol.45 (5S), p.4631
Hauptverfasser: Ohtsuka, Takahiro, Inoue, Takahiro, Yoshimatsu, Masahiro, Matsudo, Hideryo, Uehara, Hiroshi, Okazaki, Masanobu
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.45.4631