Fabrication of Spin-Coated Optical Waveguides for Optically Interconnected LSI and Influence of Fabrication Process on Underlying Metal–Oxide–Semiconductor Capacitors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-04, Vol.45 (4S), p.3498
Hauptverfasser:	Tabei, Tetsuo, Maeda, Kazuhiko, Yokoyama, Shin, Sunami, Hideo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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