Grating Metal Structure with Low-K Benzocyclobutene and Electroplated Copper for High-Q Spiral Inductors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-04, Vol.45 (4S), p.2997
Hauptverfasser:	Yeo, Sung-Ku, Shin, Seong-Ho, Kwon, Young-Se
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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