Grain Enlargement of Polycrystalline Silicon by Multipulse Excimer Laser Annealing: Role of Hydrogen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-04, Vol.45 (4R), p.2726
Hauptverfasser:	Kawamoto, Naoya, Masuda, Atsushi, Matsuo, Naoto, Seri, Yasuhiro, Nishimori, Toshimasa, Kitamon, Yoshitaka, Matsumura, Hideki, Hamada, Hiroki, Miyoshi, Tadaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!