Optimization Methodology of Layer Numbers with Circuit/Process Co-Design

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2006-04, Vol.45 (4R), p.2476
Hauptverfasser:	Kyogoku, Takanori, Inoue, Junpei, Nakashima, Hidenari, Uezono, Takumi, Okada, Kenichi, Masu, Kazuya
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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