Carbon Multiprobe on a Si Cantilever for Pseudo-Metal–Oxide–Semiconductor Field-Effect-Transistor

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Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2006-03, Vol.45 (3S), p.2009
Hauptverfasser: Nagase, Masao, Nakamatsu, Kenichiro, Matsui, Shinji, Namatsu, Hideo, Yamaguchi, Hiroshi
Format: Artikel
Sprache:eng ; jpn
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.45.2009