Controlled Placement of Self-Organized Ge Dots on Patterned Si (001) Surfaces

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2004-02, Vol.43 (No. 2B), p.L247-L249
Hauptverfasser: Lee, Huang-Ming, Yang, Tsung-Hsi, Luo, Guangli, Chang, Edward Yi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
DOI:10.1143/JJAP.43.L247