Fabrication of Indium Phosphide Compound Photonic Crystal by Hydrogen Iodide/Xenon Inductively Coupled Plasma Etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2004-11, Vol.43 (No. 11A), p.L1400-L1402
Hauptverfasser:	Fujita, Masayuki, Sugitatsu, Atsushi, Uesugi, Toshitsugu, Noda, Susumu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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