Irradiation Damage in SiO 2 /Si System Induced by Photons and/or Ions in Photo-Oxidation and Plasma-Oxidation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2004-12, Vol.43 (12), p.8002-8006
Hauptverfasser:	Okamoto, Tetsuya, Ide, Tetsuya, Sasaki, Atsushi, Azuma, Kazufumi, Nakata, Yukihiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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