Simulation Analysis and Experimental Verification of LIGA-Like Process for Ni–Fe Micromold Insert with Taper Angle

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2004-11, Vol.43 (11A), p.7756-7763
Hauptverfasser:	Fu, Ming-Nan, Yeh, Yih-Min, Tu, George-Chia
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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