Epitaxial Lift-Off of GaAs/AlGaAs Films with Vertical Cavity Surface Emitting Lasers for High-Density Packaging of OptoElectronic Interconnections

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2004-10, Vol.43 (10), p.7054-7057
Hauptverfasser: Hiruma, Kenji, Kinoshita, Masao, Hiramatsu, Seiki, Mikawa, Takashi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.43.7054