Epitaxial Lift-Off of GaAs/AlGaAs Films with Vertical Cavity Surface Emitting Lasers for High-Density Packaging of OptoElectronic Interconnections
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2004-10, Vol.43 (10), p.7054-7057 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/JJAP.43.7054 |