Stranski–Krastanov Growth of Tungsten during Chemical Vapor Deposition Revealed by Micro-Auger Electron Spectroscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2004-10, Vol.43 (10), p.6974-6977
Hauptverfasser:	Noda, Suguru, Tsumura, Takeshi, Fukuhara, Jota, Yoda, Takashi, Komiyama, Hiroshi, Shimogaki, Yukihiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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