Spatially Ordered Self-Assembled Quantum Dots with Uniform Shapes Fabricated by Patterning Nanoscale SiN Islands

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2004-10, Vol.43 (10), p.6894-6899
Hauptverfasser:	Gotoh, Hideki, Shigemori, Satoshi, Kamada, Hidehiko, Saitoh, Tadashi, Temmyo, Jiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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