a-SiGe:H and a-SiGeC:H black-matrix films for Liquid Crystal Displays

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2004-01, Vol.43 (1), p.30-34
Hauptverfasser: Kato, Yoshimine, Kaida, Yoshimasa, Miyoshi, Yuki, Atsumi, Masakazu, Stathis, James
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.43.30