Fabrication of Waveguide-Type Add/Drop Grating Filter by Radio-Frequency Magnetron Sputtering to Insert GeO 2 -SiO 2 Cladding Layers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2003-03, Vol.42 (Part 2, No. 3B), p.L307-L309
Hauptverfasser: Ohkubo, Hiroyuki, Sato, Shinobu, Hongo, Akihito, Kashimura, Seiichi, Uetsuka, Hisato, Okano, Hiroaki
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
DOI:10.1143/JJAP.42.L307