Theoretical Estimation of Defect Management Reliability

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 2B), p.968-970
Hauptverfasser:	Tanaka, Kunimaro, Nemoto, Takayuki, Jinwaki, Manabu, Furukawa, Teruo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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