High-Resolution Blue-Laser Mastering Using an Inorganic Photoresist

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003-02, Vol.42 (Part 1, No. 2B), p.769-771
Hauptverfasser:	Kouchiyama, Akira, Aratani, Katsuhisa, Takemoto, Yoshihiro, Nakao, Takashi, Kai, Shinichi, Osato, Kiyoshi, Nakagawa, Kenzo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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