Study of the Crystal Size Effect on Spatial Resolution in Three-Dimensional Measurement of Fine Electromagnetic Field Distribution by Optical Probing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2003-10, Vol.42 (Part 1, No. 10), p.6637-6640
Hauptverfasser: Wakana, Shinichi, Yamazaki, Etsushi, Iwanami, Mizuki, Hoshino, Shigeki, Kishi, Masato, Tsuchiya, Masahiro
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.42.6637