Compositional Dependence of Electrical Properties of Highly (100)-/(001)-Oriented Pb(Zr,Ti)O 3 Thick Films Prepared on Si Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003-09, Vol.42 (Part 1, No. 9B), p.5922-5926
Hauptverfasser:	Yokoyama, Shintaro, Honda, Yoshihisa, Morioka, Hitoshi, Asano, Gouji, Oikawa, Takahiro, Iijima, Takashi, Matsuda, Hirofumi, Funakubo, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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